一、功能：
1、每路MFC可根据不同气体种类和浓度设定气体系数
2、提供物联网功能，设备可通过网线与电脑进行连接，电脑可远程操控设备。
3、采用稳定的质量流量控制器对气体流量进行控制，让实验结果更稳定，提升实验效率。
4、配套软管内衬管后，外接的PU或FTFE材质的气管弯折后不会漏气，提升实验安全性。
 
二、参数：
1、设备尺寸460*500*600，前面板安装10英寸物联网触摸屏；后面板为6进1出的气路布局，气体管路尺寸：6mm，并且有电源插口和网线插口。
2、N2（质量流量控制器），量程为0～5000SCCM，测量精度≥35%量程时，精度为设定值±1%，小于35%以下精度为满量程±0.35%，线性0.5%F.S，重复性0.2%F.S。
O2（质量流量控制器），量程为0～2000SCCM，，测量精度≥35%量程时，精度为设定值±1%，小于35%以下精度为满量程±0.35%，线性0.5%F.S，重复性0.2%F.S。
SO2（ 质量流量控制器），量程为0～100SCCM，测量精度≥35%量程时，精度为设定值±1%，小于35%以下精度为满量程±0.35%，线性0.5%F.S，重复性0.2%F.S。
CO（质量流量控制器），量程为0～1000SCCM，测量精度≥35%量程时，精度为设定值±1%，小于35%以下精度为满量程±0.35%，线性0.5%F.S，重复性0.2%F.S。
NH3（质量流量控制器），量程为0～500SCCM，测量精度≥35%量程时，精度为设定值±1%，小于35%以下精度为满量程±0.35%，线性0.5%F.S，重复性0.2%F.S。
NO（质量流量控制器），量程为0～50SCCM，测量精度≥35%量程时，精度为设定值±1%，小于35%以下精度为满量程±0.35%，线性0.5%F.S，重复性0.2%F.S。
3、文丘里混合器：材质316L，容积为200ml，使各种气体混合更均匀。
 

 
三、操作方法：
1、连接气路：把不锈钢内衬管塞入PU或PTFE材质的气管内，然后把气管插入卡套接头内（一定要插到底），注意卡套和螺母方向不能装反了，用扳手拧紧接头，******把进气压力调到0.1-0.3MPa之间
2、启动设备：用配套的电源线直接连到普通的220VAC电源插座即可，然后点击启动按钮进入操作界面，
3、配气工作：***后设定需要通入的各种气体流量，点击配气即可自动进行混合配比工作。如果气体实际流量没有达到设定值，需要检查混合气体输出端是否堵住或者气源压力是否正常。
4、吹扫气路：实验完后，我们建议用N2对具有腐蚀性的气路进行吹扫，方法是将N2接入需要吹扫的气路，然后通入该MFC******量程的N2，通入2分钟以上效果******。
5、设备保养：如果我们长期没有使用设备，气路接头也没有连接气管，我们应该用堵头堵住接头，防止气体管路进水或者其他污染物。