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一. 功能概述：
CS200-A,C,D 型产品是七星流量计采用先进的数字技术研发的产品。在传感器的驱动，零 点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术，保证了产品的高性能、高品质和高可靠性。
二. 控制方式
CS200-A,C,D 型产品兼容数字模拟控制方式，客户可以根据需要选择控制信号方式，产品支 持数字控制，0～5V 电压控制和 4～20mA 或 0～20mA 电流控制。当客户选择了其中一种控制信 号，其他两种控制信号将被系统自动屏蔽。而流量检测信号则通过数字方式，0～5V 电压和 4～ 20mA 或 0～20mA 电流同时送出，互不影响。更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”
三. 标定
CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息， 则按照标准状况标定。 1.6.1 标准状况 出口压力：大气压 气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为： SCCM：标准毫升/分钟 SLM：标准升/分钟 标准状态：温度 0Cº (273.15K) 气压：101325Pa (760mm Hg) 在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标 准状态下的体积流量就等同于质量流量。 MFC/MFM 的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直（进气口向上或向下）、平躺 及其它位置的安装，为保证测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。
四. 制造环境
CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在温度为 22±2℃的 100 级的净化间内组装，1000 级净化环境 下标定及包装。 1.6.3 四.精度调节
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相应的标定台上烤机 24 小时，然后进行精 确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查，合格后方可出厂。
五.参数
| CS200 | ||||||
| 型号 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
| 阀类型 |
常开(流量规格≤30SLM) 或常闭 | 无 |
常开或常闭 | 无 |
常开或常闭 |
无 |
| 流量规格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM |
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| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
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| 线性 | ±0.5% F.S. | |||||
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||
| 响应时间 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
| 工作压差范围 |
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM |
＜0.02 MPa |
0.05 ～ 0.35MPa 流量 规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流 量规格＞10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa 流量规 格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM |
＜0.02 MPa |
| 温度系数 |
零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM |
零点: ≤±0.02% F.S/℃；调节时: ≤±0.05% F.S/℃ |
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| 耐压 | 3MPa | |||||
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
| 密封材料 | 氟橡胶； | 金属密封 | ||||
| 工作环境温度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| 输入信号 |
数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA |
无 |
数字: RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA |
无 |
数字: RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA |
无 |
| 输出信号 |
数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | |||||
| 零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S/年 | |||||
| 电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) | |||||
| 表面化学成分 | 常态 |
Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） |
常态 |
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| 表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| 标准接头形式 |
双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3； 双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头; |
双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4；VCR1/4 阳接头； 1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W 型密封接头 |
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| 电源接头形式 | D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头 | |||||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
