中科院半导体研究所采用LY-400B标准气体稀释装置对研发的气体浓度传感器进行检测


一、概述

 高精度智能配气系统是以氮气为载气对其他标准气体进行混合均匀配制，为生产实验提供一定流量以及稳定浓度的均匀混合气体。该装置操作过程由触摸屏显示控制，也可通过WIFI连网后，用手机或电脑进行远程操作。
设备输入气体分别为N2：0~500SCCM，CH4：0~100SCCM，CO：0~100SCCM，H2S：0~100SCCM，稀释比为1-100倍

二、参数配置

配气系统设计为台式，铝合金材质，尺寸400mm宽210mm高，400mm深。
前面板是一个人机交流界面，采用昆仑通态触摸屏WIFI物联网版，一个输出口。
后面板布局有4个进气接口、1个出气接口、一个电源接头（220VAC）。
装置可对设定的任意多组分气体进行配置，混合气体均匀，数据稳定。
整个管路配件都是不锈钢316L材质及聚四氟乙烯管，防止气体吸附和腐蚀。
采用质量流量控制器（七星华创CS100）4个，测量精度≥35%量程时，精度为设定值±1%，＜35%量程时精度为满量程±0.35%，线性±0.5%F.S，重复精度±0.2%F.S，响应时间≤1sec，工作压差0.05～0.35MPa
单向阀：聚四氟乙烯材质，有效防止气体回流，启动压力3psi，接头6mm
混合器：聚四氟乙烯材质，长100mm*直径60mm圆柱体，对进气进行缓冲混合，四进一出，接头6mm

三、仪器界面

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