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D07-9E系列质量流量控制器
更新时间：2019-07-21 10:50:37
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下...
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 采用国际标准接头, 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07-9E 型 MFC 性能指标
| 编号 | 项 目 | D07-9E 型 |
| 1 | 流量规格 | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM |
| 2 | 准确度 | ±2 % F.S |
| 3 | 线性 | ±1 % F.S |
| 4 | 重复精度 | ±0.2 % F.S |
| 5 | 响应时间 | (1 ~ 4) sec |
| 6 |
工作压差范围 |
20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） 50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa （14.5~43.5 psid） 200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa （21.8~43.5 psid） |
| 7 | 耐压 | 3 MPa （435.1 psig） |
| 8 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
| 9 | 输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) |
| 10 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 400 mA |
| 11 | 外形尺寸 | 167*45*140 |
| 12 | 重量 | 2.6 kg |
D07-9EM 型性能指标
| 编号 | 项 目 | D07-9EM 型 |
| 1 | 流量规格 | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM |
| 2 | 准确度 | ±2 % F.S |
| 3 | 线性 | ±1 % F.S |
| 4 | 重复精度 | ±0.2 % F.S |
| 5 | 响应时间 | 1~4 sec |
| 6 | 气压降 | 20~100SLM: <0.02 MPa （2.9 psid）; >100SLM: <0.05 MPa （7.3 psid） |
| 7 | 耐压 | 3 MPa （435.1 psig） |
| 8 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
| 9 | 输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) |
| 10 | 电源 | +15 V 50 mA -15 V 50 mA |
| 11 | 外形尺寸 | 142*45*140 |
| 12 | 重量 | 1.5 kg |
各型号产品的主要技术指标见表 1 和表 2。其中 9EM 型是 9E 型的流量测量部分，流量计量部分的技术指标相同。
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 满量程值
